Наноэлектроника
Борисенко В.Е., Воробьева А.И.
Учебное пособие составлено на основе курса лекций «Нанотехнология», читаемого студентам специальности «Микроэлектроника» дневной формы обучения. Во второй части рассмотрены основные известные и нетрадиционные методы изготовления наноразмерных структур и функциональных слоев на их основе.
カテゴリー:
巻:
ч. 2
年:
2003
言語:
russian
ページ:
77
ISBN 10:
9854443086
ISBN 13:
9789854443089
ファイル:
PDF, 1.89 MB
IPFS:
,
russian, 2003